Сканирующий микроскоп Verios

Характеристики электронной пушки

• Разрешение при оптимальном рабочем расстоянии
- 0,6 нм при 30 кВ (STEM*)
- 0,6 нм при 15 кВ
- 0,6 нм при 2 кВ
- 0,7 нм при 1 кВ
- 1,0 нм при 500 В (ICD **)
- 1,2 нм при 200 В (ICD **)
Максимальная ширина горизонтального поля зрения
• Электронный пучок: 2,0 мм при рабочем расстоянии 4 мм
Диапазон контактной энергии
От 20 В до 30 кВ
Ток зонда
• Электронный пучок: от 0,8 пА до 100 нA

Предметный столик

5-осевой предметный столик сверхвысокой точности с пьезоэлектрическим приводом
• перемещение по осям X, Y = 100 мм
• перемещение по оси Z ? 20 мм
• T (наклон) = от –10° до +60°
• R (вращение) = n x 360° ход
• Воспроизводимость по осям X, Y 0,5 мкм
• Точность X, Y 1,5 мкм, допустимый интервал 85 %
• Вцентрический предметный столик с механическим наклоном со смещением изображения менее 5 мкм при наклоне 0–52°
• Вращение и наклон под управлением ПК

Рабочая камера

Точка Вцентрика электронного пучка и EDS на рабочем расстоянии 4 мм, 21 порт
• Максимальный размер образца: диаметр 100 мм с возможностью полного вращения
• Максимальная толщина образца (через загрузочный шлюз): 19 мм, включая держатель
• Максимальная толщина образца (через дверь камеры): 27,8 мм, включая держатель
• Вес: 200 г (включая держатель

Детекторы

• Внутрилинзовый детектор вторичных электронов Elstar (TLD-SE)
• Внутрилинзовый детектор обратно рассеянных электронов Elstar (TLD-ВSE)
• Внутриколонный детектор вторичных электронов Elstar (TLD-SE)
• Внутриколонный детектор обратно рассеянных электронов Elstar (MD)
• Детектор вторичных электронов Верхарта — Торнли (ETD)
• ИК-камера для визуального осмотра образца/колонны
• Встроенная навигационная камера Nav-Cam+™ *
• Выдвижной низковольтный высококонтрастный твердотельный детектор обратно отражённых электронов (DBS) **
• Выдвижной детектор прошедших электронов с сегментами BF/DF/HAADF (STEM) *
• Интегрированное измерение тока пучка

Вакуумная система

• 1 x 210 л/с турбомолекулярный насос
• 1 x PVP (предвакуумный насос)
• 2 x IGP (геттерно-ионных насоса)
• Вакуум в камере: 2,6 * 10-6 мбар (через 24 часа откачки)

Дополнительные аналитические возможности

• Анализ: EDS*
• Загрузочный шлюз**
• Встроенная система плазменной очистки
• Система криогенной очистки CryoCleaner
• Электронно-лучевая литография (модули производства компаний Raith, Nabity или др.)*
• Звукоизолирующий кожух FEI*
• Cryo SEM: перемещение и подготовка образцов, предметный столик для низкотемпературных применений*
• Газоинжекционная система (GIS)
• Сертифицированный по NIST образец для калибровки увеличения*

Управление системой

• 32-битный графический пользовательский интерфейс на базе Windows® ХР, клавиатура, оптическая мышь
• Два 24-дюймовых ЖК-монитора, WUXGA 1920 x 1200 пикселей
• Для управления микроскопом и вспомогательным ПК достаточно одной клавиатуры и мыши
• Джойстик**
• Многофункциональная панель управления**
• Дистанционное управление*

Получение изображений

• Время получения изображений 0,025–25 000 мкс/пиксель
• До 6144 x 4096 пикселей
• Тип файла: TIFF (8, 16, 24-битный), BMP или JPEG
• Однокадровое изображение или изображение в четырёх квадрантах
• SmartSCAN™ (256 кадров усреднения или накопления, линейного интегрирования
и усреднения, чересстрочной развёртки) и DCFI (компенсация дрифта

Доступные программные функции

• Программное обеспечение доступа к веб-архиву данных*
• Программное обеспечение визуального анализа*
• iFAST для повышения уровня автоматизации*
• MAPS™ для автоматического получения больших изображений и совместной работы*
• Автономное метрологическое программное обеспечение IC3D*
• Cell NavigatorTM для навигации по битовым элементам*

Системные опции

• Стандартно поставляется держатель для различных задач, уникальный тем, что устанавливается непосредственно на столик, и на него можно установить до 18 стандартных столиков образцов (диам. 12 мм), 3 скошенных стойки, образцы поперечных сечений и 2 наклонных многостоечных держателей* (38° и 90°)
• Каждый из наклонных многостоечных держателей может использоваться с 6 S/TEM сетками
• Держатель печатных плат и другие держатели по заказу*

Требования по установке

• Электропитание: напряжение 100–240 В~, частота 50 или 60 Гц ± 1 %
• Потребляемая мощность: 3,0 кВтА в базовой комплектации
• Сопротивление заземления: 0,1 Ом
• Окружающая среда:
- температура 20 ± 3 °C
- относительная влажность менее 80 %, 20 °С
- магнитные поля рассеяния по переменному току: требуется обследование объекта
- уровень шума: требуется обследование объекта, поскольку должен учитываться акустический спектр
- вибрации пола: требуется обследование объекта, поскольку должен учитываться спектр частот вибрации пола
• Рекомендуемая ширина x высота дверного проёма: 1,2 м x 2,0 м (минимум 0,9 м x 2,0 м)
• Вес: консоль колонны 850 кг
• Сухой азот
• Сжатый воздух: 4–6 бар — чистый, сухой, безмасляный
• Охладитель системы
• Виброизоляционный стол*