Сканирующий микроскоп Quattro

Характеристики электронной пушки

• Высокий вакуум с оптимальной рабочей дистанцией

- 0,8 нм при 30кВ (STEM)

- 1,0 нм при 30 кВ (SE)

- 2,5 нм при 30 кВ (BSE)

- 3,0 нм при 1 кВ (SE)

• Высокий вакуум с оптимальной рабочей дистанцией, режим торможения пучка

- 3,0 нм при 1 кВ (BSED)

- 2,1 нм при 1 кВ (ICD)

- 3,1 нм при 200 В (ICD)

• В режиме низкого вакуума, оптимальной рабочей дистанцией

- 1,3 нм при 30 кВ (SE)

- 2,5 нм при 30 кВ (BSE)

- 3,0 нм при 3 кВ (SE)

• В режиме естественной среды (ESEM)

- 1,3 нм при 30 кВ (SE)

Предметный столик

Вцентрический гониометрический высокоточный моторизованный по 5 осям предметный столик

Перемещение в плоскости XY: 110 x 110 мм

Воспроизводимость результатов: < 3,0 мкм (при наклоне 0°)

Моторизованное перемещение по оси Z: 65 мм

Поворот: n x 360°

Наклон: -15° / +90°

Максимальная высота образца: Расстояние 85 мм до точки Вцентрика

Максимальный вес образца: 500 г при любом положении предметного столика (до 2 кг при наклоне 0°)

Максимальный размер образца: O122 мм при полном вращении (для образцов большего размера вращение ограничено)

• Стандартно поставляется уникальный стол-держатель для различных задач, на который можно установить до 18 стандартных столиков образцов (диам. 12 мм), 3 скошенных стойки, образцы поперечных сечений и 2 наклонных многостоечных держателей* (38° и 90°), при этом не требуется инструментов для установки образцов.

• Каждый из наклонных многостоечных держателей может использоваться с 6 S/TEM сетками

• Держатель печатных плат и другие держатели по заказу

Рабочая камера

• Внутренняя ширина: 340 мм

• Аналитическая рабочая дистанция: 10 мм

• Установка до трех детекторов EDS, два из которых расположены друг напротив друга (под углом 180°)

• Копланарное расположенные (в одной плоскости) EDS/EBSD и осью наклона столика

Детекторы

Quattro обнаруживает до четырех сигналов одновременно от любого комбинация доступных детекторов или сегментов детектора:

• ETD - детектор Everhart-Thornley SE

• Датчик низкого вакуума SE (LVD)

• Газовый SED (GSED) (используется в режиме ESEM)

• ИК-камера для просмотра образца в камере

• Nav-Cam ™: цветная оптическая камера в камере для навигации по образцу *

• DBS - выдвижные или линзовые сегментированные поднесущие Направленный детектор BackScatter *

• DBS-GAD - Газоаналитический детектор, установленный на объективе *

• STEM 3+ - выдвижная сегментированная (BF, 4 DF, 6 HADF)

Сканирование Детектор передачи *

• WetSTEM ™ - столик Пельтье интегрированный с STEM для наблюдения тонких влажных образцов

• RGB-CLD - цветной детектор катодолюминесценции CL *

• Встроенный детектор (ICD) для режима торможения пучка *

Вакуумная система

• Безмасляная вакуумная система

• 1х220 л/с TMP (турбомолекулярный насос)

• 1хPVP (форвакуумный насос)

• 2 ионно-геттерных насоса

• Уровень вакуума в камере (высокий) < 6,3e–6 мбар (после 72 часов откачки)

• Время откачки: ?3,5 мин

• Режим низкого вакуума (опционально)

• Давление в камере при низком вакууме от 10 до 500 Па

• Каждый из наклонных многостоечных держателей может использоваться с 6 S/TEM сетками

• Держатель печатных плат и другие держатели по заказу

Дополнительные аналитические возможности

• Система очистки образца/камеры: система криогенной чистки FEI Cryocleaner, интегрированная система плазменной чистки FEI

• Анализ: EDS, EBSD, WDS, CL, Raman

• Система быстрой загрузки образца QuickLoader

• Навигация: Навигационная камера, корреляционная навигация, программное обеспечение для сшивки MAPS

Газовая инжекционная система (GIS) FEI: до 2 устройств (другие опции могут ограничить количество доступных систем GIS) для осаждения следующих материалов:

- Платина

- Вольфрам

- Углерод

• Манипуляторы

• Криостолик

• Электрическое зондирование

• Электростатическая блокировка пучка

Управление системой

• 64-битный графический пользовательский интерфейс на базе Windows 7, клавиатура, оптическая мышь

• 24-дюймовый ЖК-монитор, WUXGA 1920 x 1200 (второй монитор – опция

• Настраиваемый графический интерфейс с возможностью выбора до 4-х одновременно активных окон

• Регистрация изображения

• Встроенная навигация

• Программное обеспечение для анализа изображения

• Функция отмены и повтора (после отмены) действия

• Гид пользователя для простых операций/приложений

• Джойстик (опционально)

• Многофункциональное контрольное устройство управления (опционально)

Получение изображений

• Время получения изображения 0,025 – 25000 мкс/пикс.

• Размер до 6144 х 4096 пикс.

• Тип файла: TIFF (8, 16, 24 bit), BMP, JPEG

• Однокадровое изображение или изображение в четырёх квадрантах

• Технология сканирования SmartSCAN (до 256 интегрированных изображений в одном)

• DCFI (компенсация дрейфа)

Системные опции

• Стандартно поставляется держатель для различных задач, уникальный тем, что устанавливается непосредственно на столик, и на него можно установить до 18 стандартных столиков образцов (диам. 12 мм), 3 скошенных стойки, образцы поперечных сечений и 2 наклонных многостоечных держателей* (38° и 90°)

• Каждый из наклонных многостоечных держателей может использоваться с 6 S/TEM сетками

• Держатель печатных плат и другие держатели по заказу*

Требования по установке

• Электропитание:

- напряжение 100 - 240 В (+6%, –10%)

- частота 50 или 60 Гц (+/–1 %)

- Потребляемая мощность: < 3,0 кВА в базовой комплектации

• Сопротивление заземления: < 0,1 Ом

• Условия эксплуатации:

- температура (20±3) °C

- относительная влажность не более 80% (без конденсата)

- уровень паразитных ЭМП с переменным напряжением: < 40 нТ асинхронные поля, < 100 нТ синхронные поля

• Габариты дверного проёма: 0,9 м (ширина) х 1,9 м (высота)

• Вес микроскопа с колонной: 980 кг

• Рекомендуется чистый азот для напуска в систему

• Сжатый воздух (4 – 6) бар. Должен быть чистый, сухой и не содержать масла.

• Система охлаждения - наличие

• Уровень шума (требуется обследование места установки)

• Вибрация пола (требуется обследование места установки, поскольку должен учитываться спектр частот вибрации)

• Виброизоляционный стол поставляется по доп. заказу