Сканирующий микроскоп Quanta 250

Характеристики электронной пушки

• Высокий вакуум
- 3,0 нм при 30 кВ (SE)
- 4,0 нм при 30 кВ (BSE)*
- 8,0 нм при 3 кВ (SE)
• Высокий вакуум в режиме торможения пучка
- 7,0 нм при 3 кВ (режим BD* + vCD*)
• Низкий вакуум
- 3,0 нм при 30 кВ (SE)
- 4,0 нм при 30 кВ (BSE)*
- 10,0 нм при 3 кВ (SE)
• Режим естественной среды (ESEM)
- 3,0 нм при 30 кВ (SE)
• Ускоряющее напряжение: от 200 В до 30 кВ
• Ток зонда: до 2 мкА с плавной регулировкой
• Увеличение: 13–1 000 000 x

Предметный столик

Вцентрический гониометрический высокоточный моторизованный по 5 осям предметный столик
Перемещение в плоскости XY: 50 x 50 мм
Моторизованное перемещение по оси Z: 50 мм (25 мм моторизованный)
Воспроизводимость результатов: 2 мкм
Вцентрический наклон на высоте, оптимальной для решения аналитических задач: 10 мм
Поворот: n x 360°
Наклон: -15° / +75°

Рабочая камера

• Ширина: 284 мм
• Аналитическое рабочее расстояние 10 мм
• Количество портов: 8
• Угол выхода для детектора EDS: 35°

Детекторы

• Детектор вторичных электронов (SED) Верхарта — Торнли
• Низковакуумный детектор вторичных электронов большого поля (LFD)
• Газовый детектор вторичных электронов (GSED) (используется в режиме ESEM)
• Высокочувствительный низковольтный детектор обратно отраженных электронов SS-BSED*ИК-камера для контроля положения образца в камере
• Газовый детектор обратно отраженных электронов для обнаружения при высоком давлении в режиме ESEM*
• 4-квадрантный твердотельный детектор обратно отраженных электронов*
• Cсцинтиллятор BSED/CLD*
• vCD (низковольтный высококонтрастный детектор)*
• Измерение тока электронного пучка*
• Газовый аналитический BSED (GAD)*
• Детектор прошедших электронов (STEM)*
• Nav-CamTM — цветная оптическая камера для навигации по образцу*

Вакуумная система

• 1 x 250 л/с TMP (турбомолекулярный насос), 1 x PVP (форвакуумный насос)
• Запатентованный способ дифференциальной откачки через линзу
• Длина пути пучка в газе: 10 мм или 2 мм
• Возможность установки безмасляного винтового/сухого PVP по дополнительному заказу
• Вакуумная камера (высокий) < 6e–4 Па
• Вакуумная камера (низкий) < 10–130 Па
• Режим ESEM < 10–4000 Па
• Время откачки: ?150 с до высокого вакуума и ?270 с до ESEM (стандартные процедуры испытаний FEI)

Дополнительные аналитические возможности

• EDS
• WDS
• EBSD
• Криостолик
• Катодолюминесценция
• Прибор для измерения малых токов образца
• Наноманипуляторы
• Системы для литографии
• CAD-навигация
• Электрическое зондирование

Управление системой

• 32-битный графический пользовательский интерфейс на базе Windows®XP, клавиатура, оптическая мышь
• Один 19-дюймовый ЖК-монитор, SVGA 1280 x 1024
• MagicSwitchTM (переключатель, контролируемый с ПК)*
• Джойстик*
• Ручной пользовательский интерфейс*

Получение изображений

• Разрешение до 4096 x 3536 пикселей (?14Mpix)
• Тип файла: TIFF (8- или 16-битный), BMP, JPEG
• Однокадровое изображение или изображение в четырёх квадрантах
• 4-квадранта, прямая трансляция
• Прямое или статическое смешение сигналов в цвете или градациях серого
• усреднение или интегрирование 256 кадров
• Запись цифрового видеоизображения (.avi)
• Гистограмма изображения и измерительное программное обеспечение

Доступные программные функции

• Технология сканирования SmartSCAN
• Автоматическая сшивка изображений
• Программное терморегулирование
• Интервальное получение изображений в 1–4 квадрантах
• Функция сохранения нескольких изображений
• Программная утилита FEI Movie Creator (создание специального .avi-файла на основе автоматически полученной серии TIFF-изображений)
• Функциональные возможности большого окна изображения (отображает изображение на отдельном мониторе, обеспечивает возможность отображения двух полноэкранных изображений, полученных от различных детекторов)

Системные опции

• Торможение пучка
• Ручной пользовательский интерфейс
• Вспомогательный ПК (включая второй 19-дюймовый монитор)
• Блок переключателей с программным управлением
• Охлаждаемый предметный столик с элементом Пельтье с программным управлением
• Система WetSTEMTM с программным управлением
• Нагреваемый до 1000 °С предметный столик с программным управлением
• Нагреваемый до 1500 °С предметный столик с программным управлением
• Система криогенной очистки Cryocleaner
• Запасная ёмкость для Cryocleaner
• Джойстик
• Измеритель тока образца
• Программное обеспечение для дистанционного управления
• Комплект держателей образцов
• Акустический чехол для вакуумного насоса
• 7- или 52-контактный электрический вывод
• Электростатический бланкер пучка
• Комплект оснащения системой WDS
• Монтажный комплект для спирального форвакуумного насоса
• Вспомогательный газовый набор (для газов вместо воды)

Требования по установке

• Электропитание: напряжение 230 В (+6%, –10%), частота 50 или 60 Гц (+/–1 %)
• Потребляемая мощность: < 3,0 кВА в базовой комплектации
• Сопротивление заземления: < 0,1 Ом
• Условия эксплуатации: температура (+15…+25) °C, относительная влажность не более 80% (без конденсата), уровень паразитных ЭМП с переменным напряжением
< 100 нТ асинхронные поля
< 300 нТ синхронные поля
• Ширина дверного проёма: 90 см
• Вес микроскопа с колонной: 450 кг
• Рекомендуется сухой азот: система (от 0,7 до 0,8 бар, макс 10 л/мин во время вентилирования)
• Уровень шума: <68 дБн (требуется обследование места установки, поскольку должен учитываться акустический спектр)
• Вибрация пола (требуется обследование места установки, поскольку должен учитываться спектр частот вибрации пола)
• Виброизоляционный стол поставляется по дополнительному заказу