Сканирующий микроскоп Qemscan 650

Характеристики электронной пушки

• Высокий вакуум
- 3,0 нм при 30 кВ (SE)
- 4,0 нм при 30 кВ (BSE)*
- 8,0 нм при 3 кВ (SE)
• Высокий вакуум в режиме торможения пучка
- 7,0 нм при 3 кВ (режим BD* + vCD*)
• Низкий вакуум
- 3,0 нм при 30 кВ (SE)
- 4,0 нм при 30 кВ (BSE)*
- 10,0 нм при 3 кВ (SE)
• Режим естественной среды (ESEM)
- 3,0 нм при 30 кВ (SE)
• Ускоряющее напряжение: от 200 В до 30 кВ
• Ток зонда: до 2 мкА с плавной регулировкой
• Увеличение: 13–1 000 000 x

Предметный столик

Вцентрический гониометрический высокоточный моторизованный по 5 осям предметный столик
Перемещение в плоскости XY: 150 x 150 мм
Моторизованное перемещение по оси Z: 65 мм
Поворот: n x 360°
Наклон: -15° / +70°
Вцентрический наклон на высоте 29,3 мм для любых рабочих расстояний

Рабочая камера

• Ширина: 379 мм
• Аналитическое рабочее расстояние 10 мм
• Количество портов: 8
• Угол выхода для детектора EDS: 35°

Детекторы

EDS (энергодисперсионная система)
• Безазотные кремниевые дрейфовые детекторы
• Активная площадь детектирования: 2 x 30 мм2
• Разрешение по энергии: ? 133 В
• Средняя скорость счета: 800 000 имп/c
• Детектор вторичных электронов (SED) Верхарта — Торнли
• Низковакуумный детектор вторичных электронов большого поля (LFD)
• Газовый детектор вторичных электронов (GSED) (используется в режиме ESEM)
• ИК-камера для контроля положения образца в камере
• Nav-CamTM — цветная оптическая камера для навигации по образцу*
• Направленный детектор обратно отраженных электронов (DBS)*
• Газовый аналитический BSED (GAD)*
• Детектор прошедших электронов (STEM)*
• Внутриколонный детектор (ICD) для режима торможения пучка*
• Газовый детектор обратно отраженных электронов для обнаружения при высоком давлении в режиме ESEM*
• Cсцинтиллятор BSED/CLD*
• vCD (низковольтный высококонтрастный детектор)*
• Измерение тока электронного пучка*

Вакуумная система

• 1 x 250 л/с TMP (турбомолекулярный насос), 1 x PVP (форвакуумный насос)
• Запатентованный способ дифференциальной откачки через линзу
• Длина пути пучка в газе: 10 мм или 2 мм
• Возможность установки безмасляного винтового/сухого PVP по дополнительному заказу
• Вакуумная камера (высокий) < 6e–4 Па
• Вакуумная камера (низкий) < 10–130 Па
• Режим ESEM < 10–2600 Па
• Время откачки: ?150 с до высокого вакуума и ?270 с до ESEM (стандартные процедуры испытаний FEI

Дополнительные аналитические возможности

Отчетность
•3D диаграммы
•2D диаграммы
•XY диаграммы
•Модальный анализ
•Изображение частиц
•Отчеты о степени свободы минералов
•Тройные диаграммы
•Ратификация данных
•Перевод данных в формат таблицы
•Растр – градуирует измерение по X и Y осям с целью визуализации геометрических свойств зерен и их расположения
•Intercept length distribution - распределение длин отрезков
•Минеральные ассоциации
•Анализ восстановления
•Теоретическое соотношение :содержание/извлечение
•Индивидуальная настройка отчетов
•Drill down reports - Детальные отчеты
•Экспорт данных и изображений
•Интерактивные сводки
•Набор установок, которые распределяют измеренные частицы на категории: - По минеральному составу - По элементному составу - По полученным значениям - Простые и комплексные частицы

Управление системой

•Filter – позволяет выделять частицы на основе заданного признака
•Boundary phase processor - специальный алгоритм для анализа границ раздела зерен
•Touching particles - разделяет соприкасающиеся частицы
•Segment Line – алгоритм разделения частиц
•Binary Erode / Dilate
•Binary Open / Close - устраняет лишние пиксели и заполняет недостающие по периметру частиц
•Linear intercepts processor – процессор линейных отрезков –делит зерно на отдельные линии с шагом в 1 пиксель
•Field stitch processor – стыковка полей частиц
•Particulate processor – идентификация и отделение несоприкасающихся частиц
•Granulator processor – выделение зерен отдельных минералов и их перекомпоновка
•Gangue buster processor – алгоритм выделения фона
•Particle manager – позволяет создавать серию процессов, которые могут применяться к набору измерений
•Marking bad particles – выделяет и маркирует «плохие» частицы и убирает информацию о них из вычислений
•Editing particles - опция для ручного исправления ошибок в измерениях

Получение изображений

• Разрешение до 6144 x 4096 пикселей
• Тип файла: TIFF (8- или 16-битный), BMP, JPEG
• Однокадровое изображение или изображение в четырёх квадрантах
• 4-квадранта, прямая трансляция
• Прямое или статическое смешение сигналов в цвете или градациях серого
• усреднение или интегрирование 256 кадров
• Запись цифрового видеоизображения (.avi)
• Гистограмма изображения и измерительное программное обеспечение

Доступные программные функции

Комплект программного обеспечения QEMSCAN
•iMeasure
•iDiscover - Datastore Explorer - iExplorer - SIP editor SBH - SBH editor - Measurement designer - Datastore
Режимы измерения
•BMA – анализ крупногабаритного минералогического образца
•PMA – почастичный минералогический анализ
•SMS/TMS – поиск редких фаз и примесей
•Field Scan – получение петрографических изображений больших областей
iMeasure
•Обработка полученных данных
•Работа с исходными данными: изображение в отраженных электронах и спектральные данные для каждого измерения
•Добавление данных – данные новых измерений могут быть добавлены в базу ранее полученных данных о изучаемом образце
•SMS уведомление о законченном или приостановленном процессе
•Журнал используемых инструментов
SIP editor
•Два стандартных алгоритма: для минералогических исследований руд и нефтегазовых резервуаров
•Spectra import – импорт файлов данных о спектре *.ems или *.msa
•Spectra library - содержит все импортированные данные спектров для SIP, используется для создания новых записей SIP
•Synthetic spectrum builder - создает синтетические спектры
•Simustat tests – обеспечивает моделирование спектральной чувствительности для получаемых спектральных данных, используется для тестирования SIP
•Measurement debugger – настройка измерений

Системные опции

• Торможение пучка
• Ручной пользовательский интерфейс
• Вспомогательный ПК (включая второй 24-дюймовый монитор)
• Блок переключателей с программным управлением
• Охлаждаемый предметный столик с элементом Пельтье с программным управлением
• Система WetSTEMTM с программным управлением
• Нагреваемый до 1000 °С предметный столик с программным управлением
• Нагреваемый до 1500 °С предметный столик с программным управлением
• Система криогенной очистки Cryocleaner
• Запасная ёмкость для Cryocleaner
• Газоинжекционные системы (GIS): до 2 устройств (другие виды вспомогательного оборудования могут накладывать ограничения на количество доступных газоинжекционных систем) для индуцированного электронным пучком осаждения следующих материалов:
- Платина
- Вольфрам
- Углерод
• Прототипирование: интегрированное 16-битное приложение для формирования изображения, электронно-лучевая литография
• Джойстик
• AAS (автоматическая система настройки апертуры)
• Измеритель тока образца
• Программное обеспечение для дистанционного управления
• Комплект держателей образцов
• Акустический чехол для вакуумного насоса
• 7- или 52-контактный электрический вывод
• Электростатический бланкер пучка
• Комплект оснащения системой WDS
• Опциональная безмасляная система предварительного вакуума по дополнительному заказу (двойные спиральные вакуумные насосы)
• Встроенная система плазменной очистки

Требования по установке

• Электропитание: напряжение 230 В (+6%, –10%), частота 50 или 60 Гц (+/–1 %)
• Потребляемая мощность: < 3,0 кВА в базовой комплектации
• Сопротивление заземления: < 0,1 Ом
• Условия эксплуатации: температура 20 °C +/– 3 °С, относительная влажность не более 80% (без конденсата), уровень паразитных ЭМП с переменным напряжением
< 40 нТ асинхронные поля
< 300 нТ синхронные поля
• Ширина дверного проёма: 90 см
• Вес микроскопа с колонной: 530 кг
• Вес: электронного блока управления: 139 кг
• Рекомендуется сухой азот: система (от 0,7 до 0,8 бар, макс 10 л/мин во время вентилирования)

• Сжатый воздух 4–6 бар — чистый, сухой, безмасляный
• Охладитель системы требуется лишь в том случае, если условия в помещении не соответствуют техническим условиям, приведённым в руководстве по предварительной установке
• Уровень шума: <68 дБн (требуется обследование места установки, поскольку должен учитываться акустический спектр)
• Вибрация пола (требуется обследование места установки, поскольку должен учитываться спектр частот вибрации пола)
• Виброизоляционный стол поставляется по дополнительному заказу