Сканирующий микроскоп Phenom XL

Характеристики электронной пушки

Катод из гексаборида церия CeB6
Ускоряющее напряжение: 5 кВ, 10 кВ, 15 кВ.
Разрешение: <14 нм
Источник электронов CeB6
Расширенный режим, позволяющий устанавливать ускоряющее напряжение в диапазоне от 4.8 кВ -15 кВ (20 кВ опционально).

Предметный столик

Предметный столик, моторизованный по Х и У размером 100х100 мм. Позволяет устанавливать образцы с максимальными размерами до 100х100 мм и высотой до 65 мм. В столике имеются отверстия для установки до 36 стандартных столиков диаметром 12 мм. Область сканирования 50х50 или 100х100 мм.
Моторизованный Вцентрический столик с углами наклона от -15° до +90°, поворот на 360°, дополнительное перемещение на 30 мм по Х для Вцентрического положения. Диаметр образца до 37 мм и высота до 40 мм для наклона на 45°, диаметр образца до 30 мм, высота до 35 мм, для наклона на 90°. Возможна установка образцов большего размера без возможности наклона.

Детекторы

Высокочувствительный сегментированный на четыре квадранта детектор обратно рассеянных электронов (композиционный и топографический режимы). Детектор вторичных электронов.

Вакуумная система

Держатель для образца является вакуумной камерой. Вакуум достигается за счет мембранного вакуумного насоса.

Дополнительные аналитические возможности

Энергодисперсионный микроанализатор (кремниевый дрейфовый детектор), термическое охлаждение без жидкого азота.
Столик для испытаний на растяжение/сжатие, нагрузка до 1000 Н, перемещение до 10мм, в комплексе с специализированным программным обеспечением для проведения циклических тестов и сохранения всех параметров испытания.

Управление системой

Программный интерфейс на базе специализированного По Phenom для управления микроскопом. Монитор 19", поворотно-нажимная кнопка для управления. Дополнительный монитор, клавиатура, мышь, для управления программным комплексом для микроанализа.

Получение изображений

Формат изображения: JPEG, TIFF, BMP. Размер изображения: 456х456, 684х684, 1024х1024, 2048х2048.

Доступные программные функции

Программный модуль Pro Sute, который позволяет использовать стандартные приложения:
Automated Image Mapping -получение панорамных изображений.
Remote User Interface - получение удаленного доступа к микроскопу.
3D Roughness Reconstruction - получение поверхности в виде 3D изображения и измерение шероховатости.
Fibermetric - измерение микро и нано волокон.
PoroMetric - автоматизированное измерение размеров пор, от 100 нм до 0.1 мм.
ParticleMetric - измерение размеров и формы частиц.

Требования по установке

Размеры и вес:
модуль получения изображения 316(Ш)х587(Г)х625(В) 75 кг,
мембранный вакуумный насос 145(Ш)х220(Г)х213(В) 4,5 кг,
Источник питания 156(Ш)х300(Г)х74(В) 3 кг,
Монитор 375(Ш)х203(Г)х395(В) 7,9 кг,
Комплекс ProSute - монитор 19" с мини ПК и сетевым маршрутизатором 375(Ш)х250(Г)х395(В) 9 кг.
Температура 15° С ~ 30° С, влажность <80%, электропитание 110-240 В, одна фаза, 50/60 Гц, потребляемая мощность 300 Вт (макс.).
Рекомендованный размер стола для установки прибора: 150х75 см, рассчитанный на нагрузку 100 кг.