Сканирующий микроскоп Phenom ProX

Характеристики электронной пушки

Катод из гексаборида церия CeB6
Ускоряющее напряжение: 5 кВ, 10 кВ, 15 кВ.
Разрешение: <8 нм
Источник электронов CeB6
Расширенный режим, позволяющий устанавливать ускоряющее напряжение в диапазоне от 4.8 кВ -15 кВ.

Предметный столик

Виды держателей:
стандартный, для непроводящих образцов, для материалографических образцов (шлифов), для непроводящих материалографических образцов (шлифов) - максимальный диаметр 32 мм, высота 30 мм. для образцов керна - диаметр 25мм высота до 70 мм. Дополнительно устанавливаются вставки: для поперечного сечения ШхДхВ: 15х25х10, для образцов микроэлектроники ШхДхВ: 19х19х1,5, для микроинструмента и вытянутых по вертикали образцов высота до 100 мм вертикально, диаметр до 10 мм.
Моторизованный держатель с возможностью наклона и вращения с углом наклона от -10° до +45°, поворот на 360°, диаметр образца до 12 мм, высота до 5 мм, масса до 60г. Держатель с возможностью нагрева и охлаждения: от -25° до +50°, точность 1,5°, образцы диаметром до 25 мм, высотой до 5 мм.

Детекторы

Высокочувствительный сегментированный на четыре квадранта детектор обратно рассеянных электронов (композиционный и топографический режимы).

Вакуумная система

Держатель для образца является вакуумной камерой. Вакуум достигается за счет мембранного вакуумного насоса.

Дополнительные аналитические возможности

Энергодисперсионный микроанализатор (кремниевый дрейфовый детектор), термическое охлаждение без жидкого азота.

Управление системой

Программный интерфейс на базе специализированного По Phenom для управления микроскопом. Монитор 19", поворотно-нажимная кнопка для управления. Дополнительный монитор, клавиатура, мышь, для управления программным комплексом для микроанализа. Программа Phenom Pro Sute для энергодисперсионного микроанализа входит в базовую комплектацию.

Получение изображений

Формат изображения: JPEG, TIFF, BMP. Размер изображения: 456х456, 684х684, 1024х1024, 2048х2048.

Доступные программные функции

Программный модуль Pro Sute, который позволяет использовать стандартные приложения:
Automated Image Mapping -получение панорамных изображений.
Remote User Interface - получение удаленного доступа к микроскопу.
3D Roughness Reconstruction - получение поверхности в виде 3D изображения и измерение шероховатости.
Fibermetric - измерение микро и нано волокон.
PoroMetric - автоматизированное измерение размеров пор, от 100 нм до 0.1 мм.
ParticleMetric - измерение размеров и формы частиц.

Требования по установке

Размеры и вес:
модуль получения изображения 286(Ш)х566(Г)х495(В) 50 кг,
мембранный вакуумный насос 145(Ш)х220(Г)х213(В) 4,5 кг,
Источник питания 156(Ш)х300(Г)х74(В) 3 кг,
Монитор 375(Ш)х203(Г)х395(В) 7,9 кг,
Комплекс ProSute - монитор 19" с мини ПК и сетевым маршрутизатором 375(Ш)х250(Г)х395(В) 9 кг.
Температура 15° С ~ 30° С, влажность <80%, электропитание 110-240 В, одна фаза, 50/60 Гц, потребляемая мощность 300 Вт (макс.).
Рекомендованный размер стола для установки прибора: 150х75 см, рассчитанный на нагрузку 100 кг.