Просвечивающий микроскоп Titan

Характеристики электронной пушки

• Корректор изображений:
Разброс по энергии: 0,7–0,8 В**
Разрешающая способность по точкам: 80 пм
Информационный предел: 80 пм
Разрешение STEM: 136 пм
• Корректор зонда:
Разброс по энергии: 0,7–0,8 В**
Разрешающая способность по точкам: 200 пм
Информационный предел: 100 пм
Разрешение STEM: 70 пм
• Монохроматор /X-FEG корректор изображений и зонда:
Разброс по энергии: 0,2–0,3 В**
Разрешающая способность по точкам: 80 пм
Информационный предел: 70 пм
Разрешение STEM: 70 пм
• Корректор изображений и зонда:
Разброс по энергии: 0,7–0,8 В**
Разрешающая способность по точкам: 80 пм
Информационный предел: 80 пм
Разрешение STEM: 70 пм
• Новая трёхлинзовая конденсаторная система с количественной индикацией угла сведения и размера облучаемой поверхности для количественного измерения электронной дозы и условий облучения
Гибкий диапазон по высокому напряжению: Titan Themis 300 и Titan Themis3 300: 60–300 кВ (60, 80, 120, 200, 300 кВ); Titan Themis 200: 80–200 кВ (80, 120, 200 кВ)
• Монохроматор электронной пушки для достижения высокого разрешения EELS и улучшенного пространственного разрешения, особенно в случае низкокиловольтной HR-S/TEM
• STEM и TEM: Titan Themis 300 и Titan3 Themis 300: до 70 пм как для STEM, так и для TEM; Titan Themis 200: 90 пм для TEM, 80 пм для STEM

Предметный столик

• Одинарный наклонный держатель
• Двойной наклонный держатель
• Томографический держатель
• Функциональные держатели (список по запросу)
• Новый компьютеризированный 5-осевой предметный столик с пьезоэлектрическим приводом, обеспечивающий точное восстановление положения из памяти, отслеживание просмотренных в ходе исследования областей и сверхустойчивое высокое разрешение на субангстремном уровне с низким смещением образца
• Новый предметный столик с пьезоэлектрическим приводом, обеспечивающий возможность перемещения с минимальным шагом 20 пм при центрировании нужной области в зоне видимости
• Линейная компенсация смещения, обеспечиваемая предметным столиком с пьезоэлектрическим приводом и позволяющая снизить зависимость от ограничений, которые накладываются тепловым дрейфом, неизбежно возникающим в ходе экспериментов с нагревом или охлаждением in situ
• Амплитуда наклона ± 40 градусов для аналитического двойного наклонного держателя, позволяющая максимально приблизиться к оси кристалла поликристаллического материала. Томографический держатель обеспечивает наклон до ± 75 градусов для минимизации отсутствующего клина на трёхмерных реконструкциях

Рабочая камера

• Симметричная линза Ruska-Rieke S-Twin с широким зазором полюсного наконечника 5,4 мм и дополнительным пространством, позволяющим использовать специальные держатели, в том числе нагреваемые держатели, охлаждаемые держатели и держатели STM/AFM• Симметричная линза Ruska-Rieke S-Twin с широким зазором полюсного наконечника 5,4 мм и дополнительным пространством, позволяющим использовать специальные держатели, в том числе нагреваемые держатели, охлаждаемые держатели и держатели STM/AFM

Детекторы

• HAADF-детектор
• Расположенные на оси тройные детекторы DF1/DF2/BF
• Камера Ceta 16M
• Камеры Gatan US1000/US4000 Серия энергетических фильтров Gatan
• Super-X: высокочувствительная безоконная система EDX-детекторов на базе технологии SSD (запатентованная разработка)
• Выходная интенсивность до 200 килоимпульсов в секунду
Энергетическое разрешение < 136 В для Mn-K? и 10 килоимпульсов в секунду (на выходе) < 140 В для Mn-K? и 100 килоимпульсов в секунду (на выходе)
Телесный угол 0,7 стерадиан
• Комбинированная площадь обнаружения 120 мм?
Скоростная съёмка: пиксельное время выполнения операции понижено до 10 мкс
Высокое отношение пика сигнала к сигналу от газового пузыря (число Фиори) > 4000
Превосходные дырочные характеристики (< 1% при подсчёте дырок)
Низкий уровень фона в режиме EDX (< 1% случайных пиковых нагрузок)
• Обнаружение всех элементов вплоть до бора

Управление системой

• Фокусное программное приложение TrueImage™ для количественных применений TEM высокого разрешения (более подробные сведения см. в отдельном информационном листке)
• Программное обеспечение Xplore3D™ для автоматических томографических экспериментов S/TEM и программное обеспечение Xplore3D Xpress для сверхбыстрых трёхмерных реконструкций (более подробные сведения см. в отдельном информационном листке)