Электронный микроскоп SEM 150

Разрешение

5 нм (30 кВ, изображение SE)

Увеличение

30x ~ 150,000x

Ускоряющее напряжение

от 1 кВ до 30 кВ (1 кВ/5 кВ/10 кВ/15 кВ/20 кВ/30 кВ)

Обнаружение сигнала

(SEI)-Изображение вторичных электронов

(BSEI)-Изображение с обратным рассеянием электронов (опция)

Режим наблюдения

Стандартный режим

Электронная пушка

Тип нити накала

Предварительно центрированный картридж с вольфрамовой нитью накала

Система напряжения смещения

Автоматический режим

Настройка электронной пушки

Ручной режим

Система линз

Фокусирующая линза

2-ступенчатая электромагнитная конденсаторная линза

Объективная линза

1-ступенчатая электромагнитная линза объектива

Тип

Детектора SE/BSE

Система ступеней

5-осевая система перемещения

Ступени: Оси X, Y:40 мм / ось R: 360 °, Z: 0 ~ 35 мм / Ось наклона: 0 ~ 45 °

 Сдвиг изображения

Сдвиг изображения X, Y

Сдвиг изображения (±150 мкм)

Максимальный размер выборки

80 мм в диаметре, 35 мм в высоту

Система сканирования изображений

Быстрое сканирование: 320x240

Медленное сканирование: 640x480

Режим фотосъемки 1: 1280x960

Режим фотосъемки 2: 2560x1920

Режим фотосъемки 3: 5120x3840

Формат изображения

BMP, JPEG, PNG, TIFF

Отображение данных

Увеличение, Тип детектора, Ускоряющее напряжение, Режим вакуума, Логотип (Текст),

Дата и время, текстовый маркер, шкала.

Вакуумная система

Режим высокого вакуума
Роторный насос /100 л/ мин
Турбомолекулярный насос / 70 л/сек.
Время простоя насоса: менее 3 минут

Объем

Основного блока -460 (Ш) × 600 (Г) × 950 (В) мм - 1 комплект

Внешний вакуумный насос)-400 (Ш) × 160 (Г) × 340 (В) мм - 1 комплект

Вес

105 кг

Окружающая среда с оборудованием

Температура: 15? ~30?

Влажность: 70% или менее

Источник питания: Однофазный 220 В переменного тока, 1 кВт, 50/60 Гц